一文浅析高纯气体输送系统中气体与管道的关系

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发布时间：

2021-12-13

高纯气体管道技术是供应系统的重要组成部分，是将符合要求的高纯气体送到燃气店维持质量的关键技术。它包括系统的正确设计、配件和附件的选择、施工安装和试验测试等。近年来，以大规模集成电路为代表的微电子产品对高纯气体的纯度和杂质含量的要求越来越严格，对高纯气体的管道技术越来越受到关注和重视。

　　半导体气体多对人体有害。特别是一些气体，如SiH4的自然燃烧性，一旦泄漏，就会与空气中的氧气剧烈反应，开始燃烧。还有AsH3的毒性。轻微的泄漏会危及一个人的生命。也就是说，由于这种明显的危险，对系统设计的安全性要求特别高。

　　高纯气体的适用范围

　　气体产品是现代工业的重要基础原料，应用范围非常广泛，冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药等部门都使用大量普通气体或特殊气体。气体应用尤其对该领域的尖端技术有重要影响，是其不可缺少的原料气体或工艺器。只有各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动，气体工业产品才能在品种、质量、数量等方面突飞猛进。在微电子和半导体产业中的应用

　　气体的使用在半导体工艺中发挥了重要作用。特别是半导体工艺目前被广泛应用于各产业。从传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机械(MEMS)产业，都以所谓的半导体工艺作为产品的制造过程。其中工艺包括干燥刻蚀、氧化、离子捕集、离子捕集、

　　高纯管道在高纯气体输送中的重要性

　　不锈钢冶炼材料过程中每吨可吸收约200克气体。加工完成后，不仅表面附着着各种污染物，金属晶格内也会吸收一定量的气体。气流通过管道时，金属吸入的这部分气体再次进入气流。当管内气流为不连续流动时，管道对通过的气体施加压力吸附，停止通过时，管内吸附的气体又形成胁迫分析，解释的气体也作为杂质进入管内纯气体。与此同时，随着吸附、分析周期的重复，管内表面金属也会产生一定的粉末，这些金属尘埃粒子也会污染管内的纯气体。管道的这种特性不仅需要管道内部表面非常高的柔软度，还需要更高的耐磨性来保证输送的高纯气体的纯净性。